Eigenschaft:
Herstellungsverfahren:
Es gibt drei Hauptverfahren zur Herstellung runder Molybdänwafer:
(1) Drahtsägen von Molybdänstangen. Das Drahtsägeverfahren für Molybdänstangen weist geringere geometrische Verluste und eine höhere Ausbeute auf, jedoch ist die Drahtsägeeffizienz gering. Gleichzeitig neigt die Korngröße an Rand und Mitte der runden Oberfläche nach dem Abrunden leicht zu Ungleichmäßigkeit, weshalb dieses Verfahren sich noch in der experimentellen Forschungsphase befindet.
(2) Direktes Pressen und Sintern von Molybdän-Pulver. Die Ausbeute beim Pressen und Sintern von Molybdän-Pulver ist höher als bei (1), doch die Dichte ist gering, die Festigkeit schlecht und die Kornstruktur unregelmäßig angeordnet; Anwender stellten bei der Verwendung fest, dass die Schichtung mit Siliziumwafern leicht zu Rissen oder Brüchen führt – es besteht weiterhin Verbesserungsbedarf;
(3) Stanzen einer Molybdän-Platte.
Parameter:
| Verfahren | walzen, Vakuumglühen |
| Oberfläche | polierte Oberfläche, kaltgewalzte Oberfläche, Alkalilaugoberfläche |
| Eigenschaften | Hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit |
| Eigenschaften | Hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit |
| Molybdängehalt | 99.95% |
| Spezifikationen | Anpassbar |
Anwendungsbereiche:
Die chemische Zusammensetzung von Molybdän-Wafern ist stabil; der Molybdängehalt beträgt bis zu 99,9 %; die Abmessungen sind präzise, die Oberflächenrauheit niedrig und kann unter Ra 1,6 µm liegen; hoher Schmelzpunkt, gute elektrische und thermische Leitfähigkeit, hohe Festigkeit, linearer Ausdehnungskoeffizient nahe dem von Silizium, gute Verarbeitbarkeit – dies macht Molybdän zum unverzichtbaren Substratmaterial für Silizium-Gleichrichtervollanlagen, Halbleiter-Siliziumbauelemente, Anoden für Vakuumröhren sowie für die Instrumentenfertigung.
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