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Molybdän-Rund

Eigenschaft:
Herstellungsverfahren:
Es gibt drei Hauptverfahren zur Herstellung runder Molybdänwafer:

(1) Drahtsägen von Molybdänstangen. Das Drahtsägeverfahren für Molybdänstangen weist geringere geometrische Verluste und eine höhere Ausbeute auf, jedoch ist die Drahtsägeeffizienz gering. Gleichzeitig neigt die Korngröße an Rand und Mitte der runden Oberfläche nach dem Abrunden leicht zu Ungleichmäßigkeit, weshalb dieses Verfahren sich noch in der experimentellen Forschungsphase befindet.

(2) Direktes Pressen und Sintern von Molybdän-Pulver. Die Ausbeute beim Pressen und Sintern von Molybdän-Pulver ist höher als bei (1), doch die Dichte ist gering, die Festigkeit schlecht und die Kornstruktur unregelmäßig angeordnet; Anwender stellten bei der Verwendung fest, dass die Schichtung mit Siliziumwafern leicht zu Rissen oder Brüchen führt – es besteht weiterhin Verbesserungsbedarf;

(3) Stanzen einer Molybdän-Platte.

Überblick
Empfohlene Produkte

Parameter:

Verfahren	walzen, Vakuumglühen
Oberfläche	polierte Oberfläche, kaltgewalzte Oberfläche, Alkalilaugoberfläche
Eigenschaften	Hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit
Eigenschaften	Hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit
Molybdängehalt	99.95%
Spezifikationen	Anpassbar

Produktmerkmale

Molybdänscheibe ist ein kreisförmiges refraktäres Metallbauteil, das aus hochreinen Molybdän-Rohlingen durch Schmieden, Walzen, präzises Schneiden und Oberflächenbearbeitung hergestellt wird. Sie dient als wichtiger Verbrauchsartikel in der Vakuumwärmebehandlung, der Halbleiterbeschichtung, der Elektronikfertigung, der Selten-Erd-Schmelztechnik und der Hochtemperatur-Sinterung und zeichnet sich durch eine umfassende Reihe herausragender physikalischer und chemischer Eigenschaften aus.

Zunächst zeichnet sie sich durch außergewöhnliche Hochtemperaturbeständigkeit aus. Der Schmelzpunkt von Molybdän liegt bei 2620 °C, sodass die Scheibe unter langfristigem Einsatz bei extrem hohen Temperaturen eine stabile mechanische Festigkeit und vollständige Ebenheit bewahrt. Sie weist eine hohe Beständigkeit gegen Hochtemperatur-Kriechverformung auf und verzieht, sackt oder reißt nicht bei wiederholten Heiz- und Kühlzyklen. Aufgrund ihres äußerst niedrigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten bleibt ihre Gesamtabmessung bei starken Temperaturschwankungen nahezu unverändert, was eine stabile Bearbeitungsgenauigkeit für Präzisionsgeräte gewährleistet.

Hinsichtlich der thermischen und elektrischen Leistung bietet die Molybdän-Scheibe eine ausgewogene und gleichmäßige Wärmeleitfähigkeit, wodurch bei Verwendung als wärmetragende Platten in Vakuumöfen eine gleichmäßige Wärmeverteilung gewährleistet ist. Ihre konstante elektrische Leitfähigkeit macht sie ideal für Elektrodensubstrate und leitfähige Trägerscheiben. Darüber hinaus erzeugt sie im Vakuum einen vernachlässigbaren Dampfdruck und setzt keine flüchtigen Verunreinigungen frei, die Ofenkammern oder Halbleiterwafer kontaminieren könnten – sie erfüllt damit vollständig die strengen Reinheitsanforderungen von Dünnfilm-Sputterprozessen.

Chemisch weist die Scheibe eine zuverlässige Korrosionsbeständigkeit gegenüber den meisten verdünnten Säuren, Laugen und geschmolzenen Nichteisenmetallen bei Raum- und mittleren Temperaturen auf. Unter Vakuum- oder Inertgas-Schutz tritt praktisch keine Oxidation auf; eine leichte Oberflächenoxidation tritt lediglich auf, wenn die Temperatur in offener Luft über 400 °C steigt. Sie bleibt inert gegenüber geschmolzenem Glas, Keramik und Selten-Erd-Schmelzen und verhindert so Kreuzkontaminationen während der Sinter- und Schmelzproduktion.

Anwendungen
Die chemische Zusammensetzung von Molybdän-Wafern ist stabil; der Molybdängehalt beträgt bis zu 99,9 %; die Abmessungen sind präzise, die Oberflächenrauheit niedrig und kann unter Ra 1,6 µm liegen; hoher Schmelzpunkt, gute elektrische und thermische Leitfähigkeit, hohe Festigkeit, linearer Ausdehnungskoeffizient nahe dem von Silizium, gute Verarbeitbarkeit – dies macht Molybdän zum unverzichtbaren Substratmaterial für Silizium-Gleichrichtervollanlagen, Halbleiter-Siliziumbauelemente, Anoden für Vakuumröhren sowie für die Instrumentenfertigung.