属性：
製造方法：
円形モリブデンウエハーの製造方法は主に以下の3種類あります：
（1）モリブデン棒のワイヤーカット。モリブデン棒をワイヤーカットで加工する方法は幾何学的ロスが少なく、収率が高い一方で、ワイヤーカット効率は低いです。また、丸め加工後の円形表面の端部と中央部の結晶粒径が不均一になりやすいため、現時点では実験研究段階にとどまっています。
(2) モリブデン粉末の直接圧縮・焼結。モリブデン粉末を用いた圧縮・焼結法は(1)と比較して収率が高くなるが、密度が低く、強度が劣り、結晶粒構造が無秩序な配列となる。ユーザーによる実使用において、シリコンウェーハとの積層時に亀裂や破断が生じやすいため、依然として改善が必要である。
(3) モリブデン板のパンチング。
パラメータ：
| 製造工程 | ロール加工、真空アニーリング |
| 表面状態 | 研磨面、冷間圧延面、アルカリ洗浄面 |
| 特徴 | 高温と耐腐蝕性 |
| 特徴 | 高温と耐腐蝕性 |
| モリブデン含有量 | 99.95% |
| 仕様 | 設定可能 |
適用:
モリブデンウエハーの化学組成は安定しており、モリブデン含有量は99.9％に達し、寸法精度が高く、表面粗さが低く、Ra 1.6μm以下に達する。また、融点が高く、優れた電気伝導性および熱伝導性、高い強度を有し、線膨張係数がシリコンに近いことから、加工性も良好である。これは、シリコン整流器用一式設備、半導体シリコンデバイス、真空管アノード、計測機器製造において不可欠な基板材料である。
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