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モリブデン丸棒

属性：
製造方法：
円形モリブデンウエハーの製造方法は主に以下の3種類あります：

（1）モリブデン棒のワイヤーカット。モリブデン棒をワイヤーカットで加工する方法は幾何学的ロスが少なく、収率が高い一方で、ワイヤーカット効率は低いです。また、丸め加工後の円形表面の端部と中央部の結晶粒径が不均一になりやすいため、現時点では実験研究段階にとどまっています。

(2) モリブデン粉末の直接圧縮・焼結。モリブデン粉末を用いた圧縮・焼結法は(1)と比較して収率が高くなるが、密度が低く、強度が劣り、結晶粒構造が無秩序な配列となる。ユーザーによる実使用において、シリコンウェーハとの積層時に亀裂や破断が生じやすいため、依然として改善が必要である。

(3) モリブデン板のパンチング。

概要
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パラメータ：

製造工程	ロール加工、真空アニーリング
表面状態	研磨面、冷間圧延面、アルカリ洗浄面
特徴	高温と耐腐蝕性
特徴	高温と耐腐蝕性
モリブデン含有量	99.95%
仕様	設定可能

製品の特長

モリブデン円板は、高純度モリブデン材を鍛造・圧延・精密切断・表面仕上げにより製造された円形耐熱金属部品であり、真空熱処理、半導体薄膜成膜、電子機器製造、希土類精錬、高温焼結などの産業分野で重要な消耗部品として使用される。優れた物理的・化学的特性を総合的に備えている。

まず、卓越した耐高温性を有している。モリブデンの融点は2620°Cであり、超高温下での長時間使用においても機械的強度と完全な平面性を維持できる。高温クリープに対する耐性も非常に高く、繰り返しの加熱・冷却サイクルにおいても曲がり、たわみ、亀裂などが生じない。また、極めて低い熱膨張係数を持つため、急激な温度変化に対しても全体の寸法変化がほとんどなく、高精度機器における加工精度の安定性を確保する。

熱的および電気的性能の観点から、モリブデン円板は均一かつバランスの取れた熱伝導性を発揮し、真空炉における耐熱プレートとして使用する際に均一な熱分布を実現します。また、安定した電気伝導性を有するため、電極基板および導電性キャリアディスクとして最適です。さらに、真空環境下での蒸気圧はほとんど発生せず、炉内や半導体ウェーハを汚染する揮発性不純物を一切放出しないため、薄膜スパッタリング工程における厳格な清浄度基準を完全に満たします。

化学的には、このディスクは常温および中温において、ほとんどの希薄な酸・アルカリおよび溶融非鉄金属に対して信頼性の高い耐食性を示します。真空または不活性ガス雰囲気下では酸化がほとんど生じず、開放大気中で温度が400°Cを超えると、わずかな表面酸化が生じるのみです。また、溶融ガラス、セラミックス、レアアース溶湯に対しても不活性であり、焼結および溶製工程における相互汚染を防止します。

用途
モリブデンウエハーの化学組成は安定しており、モリブデン含有量は99.9％に達し、寸法精度が高く、表面粗さが低く、Ra 1.6μm以下に達する。また、融点が高く、優れた電気伝導性および熱伝導性、高い強度を有し、線膨張係数がシリコンに近いことから、加工性も良好である。これは、シリコン整流器用一式設備、半導体シリコンデバイス、真空管アノード、計測機器製造において不可欠な基板材料である。