Eigenschaft:
Herstellungsverfahren:
Es gibt drei Hauptverfahren zur Herstellung runder Molybdänwafer: (1) Drahtsägen von Molybdänstangen. Das Drahtsägeverfahren für Molybdänstangen weist geringere geometrische Verluste und eine höhere Ausbeute auf, jedoch ist die Drahtsägeeffizienz niedrig. Gleichzeitig neigt die Korngröße an Rand und Mitte der runden Oberfläche nach dem Abrunden leicht zu Ungleichmäßigkeit; dieses Verfahren befindet sich noch in der experimentellen Forschungsphase. (2) Direktes Pressen und Sintern von Molybdänpulver. Das Press- und Sinterverfahren für Molybdänpulver weist eine höhere Ausbeute als Verfahren (1) auf, jedoch ist die Dichte gering, die Festigkeit schlecht und die Kornstruktur unregelmäßig angeordnet; Anwender stellten bei der Verwendung fest, dass das Material beim Laminieren mit Siliziumwafern leicht Risse oder Brüche aufweist – es bedarf daher weiterer Verbesserung. (3) Stanzen aus Molybdänblech.
Parameter:
| Verfahren | walzen, Vakuumglühen |
| Oberfläche | polierte Oberfläche, kaltgewalzte Oberfläche, Alkalilaugoberfläche |
| Eigenschaften | Hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit |
| Eigenschaften | Hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit |
| Molybdängehalt | 99.95% |
| Spezifikationen | Anpassbar |
Anwendungsbereiche:
Die chemische Zusammensetzung von Molybdän-Wafern ist stabil; der Molybdängehalt beträgt bis zu 99,9 %; die Abmessungen sind präzise, die Oberflächenrauheit niedrig und kann unter Ra 1,6 µm liegen; hoher Schmelzpunkt, gute elektrische und thermische Leitfähigkeit, hohe Festigkeit, linearer Ausdehnungskoeffizient nahe dem von Silizium, gute Verarbeitbarkeit – dies macht Molybdän zum unverzichtbaren Substratmaterial für Silizium-Gleichrichtervollanlagen, Halbleiter-Siliziumbauelemente, Anoden für Vakuumröhren sowie für die Instrumentenfertigung.
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