属性：
製造方法：
円形モリブデンウェーハの主な製造方法は以下の3種類あります。（1）モリブデン棒のワイヤーカット法：モリブデン棒をワイヤーカットする製造方法は、幾何学的ロスが少なく収率が高い一方で、ワイヤーカット効率が低く、また丸み加工後の円周部と中心部の結晶粒径が不均一になりやすいため、現時点では実験研究段階にとどまっています。（2）モリブデン粉末の直接圧粉・焼結法：モリブデン粉末を圧粉・焼結する方法は（1）よりも収率が高いものの、密度が低く強度も劣り、結晶構造が無秩序な配列となるため、シリコンウェーハとの積層使用時に亀裂や破断が生じやすくなるという課題があり、さらなる改善が必要です。（3）モリブデン板のパンチング法。
パラメータ：
| 製造工程 | ロール加工、真空アニーリング |
| 表面状態 | 研磨面、冷間圧延面、アルカリ洗浄面 |
| 特徴 | 高温と耐腐蝕性 |
| 特徴 | 高温と耐腐蝕性 |
| モリブデン含有量 | 99.95% |
| 仕様 | 設定可能 |
適用:
モリブデンウエハーの化学組成は安定しており、モリブデン含有量は99.9％に達し、寸法精度が高く、表面粗さが低く、Ra 1.6μm以下に達する。また、融点が高く、優れた電気伝導性および熱伝導性、高い強度を有し、線膨張係数がシリコンに近いことから、加工性も良好である。これは、シリコン整流器用一式設備、半導体シリコンデバイス、真空管アノード、計測機器製造において不可欠な基板材料である。
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