속성:
제조 방식:
원형 몰리브덴 웨이퍼를 제조하는 주요 방법은 세 가지이다: (1) 몰리브덴 막대의 와이어 커팅 방식. 몰리브덴 막대를 와이어 커팅으로 가공하는 방식은 기하학적 손실이 적고 수율이 높으나, 와이어 커팅 효율이 낮다. 또한, 원형화 후 원형 표면의 가장자리와 중심부의 결정립 크기가 불균일해지기 쉬워 현재 실험 연구 단계에 머물러 있다. (2) 몰리브덴 분말의 직접 압축 및 소결 방식. 몰리브덴 분말을 압축·소결하는 방식은 (1)보다 수율이 높으나 밀도가 낮고 강도가 떨어지며, 결정 구조가 무질서하게 배열되어 사용 시 실리콘 웨이퍼와 적층 시 균열 또는 파손이 발생하기 쉬워 개선이 필요하다. (3) 몰리브덴 판재 펀칭 방식.
매개변수:
| 공정 | 압연, 진공 어닐링 |
| 표면 처리 | 광택 마감면, 냉간 압연 면, 알칼리 세척 면 |
| 특성 | 고온 및 부식 저항성 |
| 특성 | 고온 및 부식 저항성 |
| 몰리브덴 함량 | 99.95% |
| 사양 | 사용자 정의 |
응용 프로그램:
몰리브덴 웨이퍼의 화학 조성이 안정적이며, 몰리브덴 함량은 99.9%에 달하고, 치수 정확도가 높으며, 표면 거칠기가 낮아 Ra 1.6μm 이하로 제어 가능하다. 또한 고융점, 우수한 전기 및 열 전도성, 높은 강도, 실리콘과 유사한 선형 열팽창 계수, 우수한 가공성을 갖추고 있어 실리콘 정류 장치 일체형 설비, 반도체 실리콘 소자, 진공관 양극, 계측기 제조 등에 필수적인 기판 재료이다.